超精密真空めっき装置
基材規格:PET/PP
フィルム幅/フィルム厚:1350 mm/Min.3 um
成膜有効幅:最大:1300 mm
フィルム原反径/芯管径:最大:500 mm/6インチ
張力制御範囲:20 ~ 200 N全幅
巻取り制御方式:Pickup Rollerによる張力制御
成膜規格:フィルム両面成膜、接着フィルムCr:30 nm/導電膜Cu:1μm/保護フィルムCr:50 nm、≦±5%(幅方向)、Cu:2.0uQcm